液晶面板制造的前段Array制程主要是薄膜、黃光、蝕刻、剝膜四大部分。液晶面板生產(chǎn)大約50%以上工序中硅片與超純水直接接觸，有80%以上工序需要進行化學(xué)處理，而化學(xué)處理又與超純水有密切關(guān)系，并且直接與工件接觸，如果水質(zhì)不純，就會導(dǎo)致器件性能下降，影響產(chǎn)品性能，進而影響了產(chǎn)品的良率，因此，超純水的品質(zhì)對液晶面板發(fā)展有很大影響